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2002年7月3日

プラズマ発生用高周波電源装置受注生産開始

 日本無線(株)は無線通信機器の技術を応用して、大型ウエハーや大型平面パネル用LCDを製造するための半導体製造装置に使用するプラズマ発生用の高周波電源装置を開発し、製品化致しました。

 最近のウエハーやLCD表示パネルの大型化に伴い、プラズマ加工の高度化と高速化のためプラズマ発生用の高周波電源装置は、従来の一般的なプラズマ加工用周波数の13.56MHzから27MHz、40MHz、60MHzといった高い周波数に需要が拡がっており、また出力電力も1kW程度から5kW~20kWへと大出力化への強い要望があります。

 日本無線(株)では通信用大型送信装置や放送用送信装置で培った技術をベースに40MHz、60MHz帯の電力増幅器と、プラズマに対する高速整合器の基本技術の開発を完了し、周波数13.56MHz~80MHz、出力5k~20kWのプラズマ発生用高周波電源装置を各種半導体製造装置の仕様に合わせた受注生産を開始します。

 プラズマ用高周波電源装置では、プラズマの発生過程で電力増幅器の負荷インピーダンスが大幅に変化するため、電力増幅器への負担が大きく、従来型の電力増幅器では半導体デバイス破壊を招くこともしばしばありましたが、今回開発した電力増幅装置は、独自の技術により、いかなる負荷変動に対しても保護回路に頼ることなく、異常な動作や故障のないように、高信頼性に開発主眼を置き設計されています。また、プラズマ整合器は、高速同調回路と新規開発の特殊整合アルゴリズムを採用し、プラズマ着火から安定領域まで素早く動作します。

 本装置は半導体製造装置メーカー、同 RF電源メーカー、半導体製造メーカー各社からの要求仕様に対して幅広く、多品種に対応致します。また、直流電源部の開発設計と製造の量産ラインは長野日本無線(株)との協力体制により、部品やユニットの標準化と納期短縮および価格の低減を図り、初年度100式、次年度以降500式の販売を目指しております。

特長

高安定出力

高周波電源部、整合部を同時適応制御し、安定したプラズマを発生させます。

破壊に耐える余裕の出力

高耐圧パワーMOS FET 採用のヘビーデューティー電力増幅回路により、高破壊耐量と余裕の出力を実現しました。

安定動作

負荷の全開放短絡およびいかなるインピーダンス負荷においても、保護回路に頼ることなく安定動作します。

高速整合

自動整合部には非回転型の真空バリコンを採用、高速整合を実現しました。

正確な自動整合

周波数選択型インピーダンス検出器を整合部に採用、確実正確な自動整合を行います。

画像:プラズマ発生用高周波電源装置

お問い合わせ先

当製品に関するお問い合わせは、以下までご連絡ください。

日本無線株式会社
特機事業部 海外民需グループ
E-mail:rf_sales@tokki.jrc.co.jp

総務部 広報課
pr_jrc@m1.jrc.co.jp

  1. 内容はリリース時現在のものです