| 今年で27回目の開催を迎える『SEMICON Japan 2003』において弊社では、新製品のプラズマ発生用高周波電源装置などを展示いたします。是非、私どものブースへ足をお運びください。 |
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開催期間 |
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2003年12月3日(水)~5日(金) |
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展示会場 |
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幕張メッセ(日本コンベンションセンター)
国際展示場ホール 小間番号 1-B102 |
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主 催 |
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SEMI (Semiconductor Equipment and Materials International) |
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より詳しい情報はセミコン・ジャパン 2003(SEMICON Japan 2003)公式サイトでご覧いただけます。 |
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13.56MHz |
2kW |
空冷型 高周波電源 |
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27.12MHz/40.68MHz |
2kW |
水冷型 高周波電源 |
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13.56MHz?40.68MHz |
2kW |
自動整合器 |
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100MHz |
5kW |
水冷型 高周波電源/自動整合器 |
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UHF帯 |
1kW |
水冷型 高周波電源 |
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2.45GHz |
700W |
水冷型 高周波電源 |
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2.45GHz |
700W |
オートスラグチューナー |
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2.45GHz |
200W |
空冷型 高周波電源 |
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| 本件に関するお問い合わせは、以下までご連絡ください。
| 日本無線株式会社 |
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特機事業部 海外民需グループ
tel.03-3348-4199
E-mail:rf_sales@tokki.jrc.co.jp |
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