2003年10月27日


SEMICON Japan2003


 今年で27回目の開催を迎える『SEMICON Japan 2003』において弊社では、新製品のプラズマ発生用高周波電源装置などを展示いたします。是非、私どものブースへ足をお運びください。


開催期間 2003年12月3日(水)~5日(金)
展示会場 幕張メッセ(日本コンベンションセンター)
国際展示場ホール 小間番号 1-B102
主 催 SEMI (Semiconductor Equipment and Materials International)

より詳しい情報はセミコン・ジャパン 2003(SEMICON Japan 2003)公式サイトでご覧いただけます。




13.56MHz 2kW 空冷型 高周波電源
27.12MHz/40.68MHz 2kW 水冷型 高周波電源
13.56MHz?40.68MHz 2kW 自動整合器
100MHz 5kW 水冷型 高周波電源/自動整合器
UHF帯 1kW 水冷型 高周波電源
2.45GHz 700W 水冷型 高周波電源
2.45GHz 700W オートスラグチューナー
2.45GHz 200W 空冷型 高周波電源


本件に関するお問い合わせは、以下までご連絡ください。

日本無線株式会社
特機事業部 海外民需グループ
tel.03-3348-4199
E-mail:rf_sales@tokki.jrc.co.jp



*本内容は、リリース時現在のものです。
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