＞ ニュース ＞ 2002年 2002年8月20日（最終更新日：2002.9.24） 　去る９月１１日〜１３日、東京ビッグサイトで開催された「VACUUM2002 真空展」には多くの方に御来場頂きまして、ありがとうございました。 　本展示会では、半導体・液晶製造装置等に最適なプラズマ発生用高周波電源装置をご紹介いたしましたが、初出展ながら多くのご来場者の方に弊社ブースをご見学いただきました。 　また、来場いただきましたお客様からはラインアップの充実を期待する声を多数いただき、プラズマ応用装置のニーズにお応えできる製品であると確信いたしました。 　日本無線は、お客様の声にお応えすべく努力してまいります。今後とも、弊社の製品と技術にご期待ください。 ※会期は終了いたしました。ご来展ありがとうございました。 ■ 開催期間 ： 2002年9月11日（水）〜13日（金） ■ 展示会場 ： 東京ビッグサイト　西１ホール 小間番号　４０ より詳しい情報は「VACCUM2002-真空展」でご覧いただけます。  展示品目 ● 60MHz、5kW　高周波電源装置 ● 40MHz、VVCユニット ● 2MHz、5kW　高周波電源装置 製品カタログ（600KB） 本製品へのお問い合わせは、 日本無線株式会社 特機事業部 海外民需グループ E-mail：rf_sales@tokki.jrc.co.jp バックナンバーリストに戻る *本内容は、リリース時現在のものです。